nXDS 干式涡旋泵具备出色的抽气能力、极限真空性能和最先进的设计特性，性能居同类产品之首。

nXDS 泵在其他涡旋泵的基础上进行优化，提高了抽速，获得了更高极限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸汽(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS 泵还采用了最新的端面密封技术，显著延长了端面密封条更换的时间间隔。

nXDS-C是改进型，更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz内阀以及不锈钢材料。nXDS-R型不带气镇因此它不能被突然打开。它可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。

产品特点：

*  温控风扇：可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使最小噪声降至仅 52 dB(A)。

*  轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

*  变频器驱动：全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造最佳用户体验。

*  涡旋盘经优化设计后：转速提高，极限真空比提高第一代提高一个数量级，最低极限压力仅为7 x 10^-3mbar。

*  经优化设计的端面密封技术：使得使用寿命发生显著变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到 2 年以上。

*  高流量气镇特性：可实现以最高 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

技术数据：

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性能：

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新型nRVi系列油封旋片泵拥有全球领先的增强且一致的性能 以及最先进的通讯技术。行业领先的RV泵结合Edwards驱动技 术使得油封真空技术真正进入了21世纪。 

基于Edwards技术，新驱动的增加确保nRVi能够更好的安装和 远程启停，以提高控制功能。采用自感应宽范围电压操作， 保证用户无论在多大电源（50 Hz或者60 Hz）下均能够实现较 高的抽速，具有增强且一致的性能。 

产品特点：

*  驱动：可靠的RV性能且已证实的驱动设计。 

*  智能通用电压 为了安全且可靠的双电压操作，使用 Edwards智能通用电压操作：100-127 V  AC RMS 50/60 Hz和 200-240 V AC RMS  50/60 Hz。 

*  符合标准 用于高压操作(200-240 V)的EMC增强版， 满足欧洲EN61000-3-2的谐波发射要求。 

*  待机模式 使用待机模式能够控制速度，为应用程 序调优或省电。 

*  多种控制方式 手动控制，简单远程遥控和串口通信控 制。 

*  阀门控制 辅助阀控制。 

*  自启动 可选的自启动功能来代替传统的直接在 线(DOL)应用程序。 

技术数据：

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性能：

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nXLi是强制空气冷却、单相输入及智能驱动的多级罗茨干式真空泵，能够在压力1-10 mbar的范围内提供峰值抽速。

nXLi占用空间较小，具有操作安静、方便灵活、结构紧凑等特点。该无油非接触式的真空泵最长可达5年的不间断运行且不需要维护。

智能驱动瞬时过载保护使得泵在腔体从大气压抽到操作压力的较短时间内获得更高的功率，确保系统在使用单相电源时，实现性能的强化以及200-230 V全球操作的一致性。控制可选择手动、简单远程或串行通信（带有Modbus命令集的RS485）。

产品特点：
*  空气冷却、单相干泵：在压力1-10 mbar的范围内，提供两种 抽速选择：110 m³h^-1或200 m³ h^-1。 

*  强化的EMC版本：高压版本满足欧盟EN61000-3-2的谐波 排放要求。 

*  智能驱动瞬时过载保护：确保系统在使用单相电源时，实现性能 的强化，同时在抽气时对泵进行保护。 

*  控制的灵活性：手动控制，简单远程控制和串行通信 （带有Modbus命令集的RS485）。 

*  紧凑和安静：占用空间小，操作安静，能够改善工作 环境，更好地利用实验室空间。 

*  无油非接触式：无油操作，免于维护，确保长期稳定运 行；内置防倒吸的排气阀。 

技术数据：

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EPX 系列采用荣获专利的独特单轴再生级和 Holweck® 螺旋牵引级的多级结构，可以根据不同型号从大气压抽取到<1 x 10^-4 mbar 或<1 x 10^-6 mbar 的极限真空。

当单台泵所提供的真空无法满足某些应用的要求时，或者需要涡轮分子泵和前级泵时，EPX 泵是理想的选择。它们还适用于频繁地在大气压和高真空之间循环的应用，因为它们能够在所有入口压力条件下连续工作。

产品特点：

*  HOLWECK 螺旋牵引级和再生级：针对各种性能，具有低发热、低振动特点。

*  额外的螺旋牵引级(仅限 EPX500)：抽速提高至500m³h^-1，极限真空提高至1 x 10^-6 mbar。

*  紧凑的设计：EPX 比同类涡轮分子泵和前级泵组合更小巧。

*  超清洁机构：EPX 泵在真空条件下不含油或油脂，并且不存在任何其他潜在污染源。

*  水冷：对安装环境的热负荷冲击小。

*  带氮气吹扫设备(N 选配型)：使该泵适用于抽取蒸汽以及低腐蚀性蒸汽和微粒。

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对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用，STP 磁悬浮涡轮分子泵是首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态，消除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏的风险，同时将噪声和振动降至最低。

STP 磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有极高的声誉，并且是许多最具挑战性的半导体应用的首选分子泵。对于实验室应用，STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠，并且超长时间运行而无需维护。

产品特点：

*  低振动：磁悬浮意味着无摩擦，因此振动极低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而化。

*  无油：使用磁力轴承，因此无需使用任何碳氢化合物润滑剂。

*  自动平衡系统：Edwards 5 轴磁悬浮泵能够动态调整磁场，从而防止转子失衡。

*  免维护：零摩擦意味着无磨损，因此在正常操作中无需进行任何日常维护。

*  耐腐蚀性能：大多数 Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵型号均还提供镀镍涂层的内部过流部件和氮气吹扫设备的专用耐腐蚀型号，是化学实验室应用的理想选择。

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nEXT 涡轮分子泵小车可选配 47 ls^-1 至 400 ls^-1 抽速的分子泵，前级泵可选配 1 m³h^-1 至 20 m³h^-1 抽速的干式泵或者油封旋片泵。我们的所有 nEXT 涡轮分子泵站均配备有分子泵和真空计集成控制器 TIC，可以通过简单直观的界面实现对系统的完全控制。

nEXT 涡轮分子泵已经完全系统化，开箱即用，并且包含油雾过滤器等常用附件和电源电缆。作为配置齐全的高端分子泵小车，它们还包含用于进行监控的 RS232 串行通信和Windows® 软件。

产品特点：

*  涡轮分子泵的选择范围：选用抽速为 47 至 400 ls^-1 的涡轮分子泵，以及 DN40 至 DN160 的入口法兰。

*  集成控制：分子泵和真空计集成式控制器可实现对泵和最多 3 个真空计的完全控制，并且能够实现完整的串行远程通信。

*  排气阀选项：可选择的涡轮分子泵排气阀可作为泵车组件的一部分订购。

*  用户可维护：所有nEXT涡轮分子泵和前级泵均可完全由用户维修。

*  坚固的金属框架：带有锁定脚轮的全金属框架坚固并且便于移动的系统设计，包括安全台式操作工作台安装套件。

*  前级泵选择：前级泵可选1m³h^-1 至 20m³h^-1 抽速的油封旋片泵或干式泵。

*  低震动：后备泵安装在防振动底座上，能够有效降低前级泵震动对小车产生的影响。

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T-station 85 是一个紧凑型、低成本的、可移动涡轮分子泵组系统，它通过将nEXT85H 和干式隔膜泵或湿式油封旋片泵和具备简易控制器无缝系统化集成，提供47 ls^-1 至84 ls^-1 的抽速。

T-station 85 自带分子泵和真空计集成式控制器，可实现单按钮启动/停止系统。如果安装了真空计，则能够控制一个真空计、系统破空电磁阀以及延迟涡轮分子泵的启动时间，直至某时间点或系统真空度与真空计读数一致时启动，因此T-station 85 是满足一般实验室需求的理想选择。

产品特点：

*  定制集成式控制器具有以下特性：可启动/停止泵的单个专用按钮；清晰易读且准确的显示屏；可选择系统自动破空模式，在此模式下 TAV5 系统破空电磁阀适合在无用户干预的情况下自动系统破空。

*  高性能前级泵：前级泵可选油封旋片泵E2M1.5或大抽速的干式隔膜泵XDD1。

*  紧凑的外形：底板包括橡胶支脚和两侧内便于人工搬运的开孔，打造了无懈可击的紧凑低矮型而又稳固的设计。

*  用户可维修：nEXT85涡轮分子泵，XDD1干式隔膜泵和E2M1.5油封旋片泵都是用户可维修的。

*  集成式空气冷却器：集成式空气冷却器用于冷却内部电源和泵/ 控制器，可实现静音操作，而避免使用多个风扇。

*  坚固的金属框架：全金属框架表明设计坚固，经久耐用，而不会开裂或断裂。

*  进气法兰选项：提供 NW40、ISO63 或 CF63 进气法兰以适配您的应用。

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nEXT 涡轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混合轴承涡轮分子泵，抽速的范围为 47 ls^-1 至 400 ls^-1。它们全部使用永磁上轴承，能够消除转子顶部的碳氢化合物，同时使用油润滑下轴承，可实现可靠的高速操作。

机载控制器与 TIC 和 TAG 控制器直接通讯，可提供低成本系统集成。nEXT 型号还允许用户通过更换轴承油盒和轴承来实现对泵自行维护，以降低运行成本。

产品特点：

*  磁力上轴承：确保清洁的真空环境、低功率和低振动。

*  入口筛网：作为标配提供 (未显示)。

*  经过优化的转子设计：可实现高转速和高压缩比。

*  适用于多种应用范围的变体型号选择：
    D = 标准nEXT泵变体
    H = 优化的转子设计专用于高轻气体压缩
    T = 拥有额外再生级，增加的压缩比和更高的背压力能力

*  手动排气阀：破空接口以便在不损坏泵的前提下对泵进行破真空，并且可更换为电磁阀，以便进行全自动化对泵进行破空。

*  集成控制器：可提供并行的 I/O 或串行控制，或者也可以与 TAG 或 TIC 控制器其中一个相连，以便轻松实现系统化。

*  完全用户可维护：油盒和轴承采用最少的工具可以在现场更换。

技术数据：

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性能：

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与其他油封旋片泵相比，RV 系列油封旋片泵具有更低的运行和维护成本，这样的设计特性使其多年来成为实验室应用行业中标配的油封旋片泵。

借助其独特的模式选择器，一个泵可既可用于高流量低真空的应用，也可以用于低流量高真空的应用；自动定心机构、无定位销设计保证的零件互换性；高蒸汽抽取能力以及各式各样的附件使 RV 泵成为最适合在实验室应用中长期使用的选择。

产品特点：

*  独特的模式选择器：可通过单泵实现高真空和高流量操作。

*  高气镇流速：可达到最高 220 g/hr 水蒸汽处理能力。

*  快速关闭型入口隔离阀：通过油压控制阀门的动作来保护系统。

*  高品质油：利用添加剂来延长使用寿命，同时也不会影响油的饱和蒸汽压。

*  噪音低至：48 dB(A)。

*  可使用 O 形圈密封目视镜：直接观检查油的状况。

*  强制空气冷却：确保泵的表面温度较低。

技术数据：

尺寸：

性能：

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EM 单级和双级油封旋片泵因能够达到高极限真空和快速抽空能力、静音操作以及尺寸紧凑而享有盛誉。事实证明，这些泵能够为一系列科学和实验室应用在多年内提供长期可靠的性能，并且非常适合与涡轮分子泵搭配使用。

产品特点：

*  高品质油：利用添加剂来延长使用寿命，同时也不会影响油的饱和蒸汽压。

*  大水蒸汽处理能力：气镇阀。

*  客户无需单独接线：集成式 IEC 连接器。

*  可以直观检查油位和油的状况：O 形圈密封油位视镜。

*  低表面温度：强制空气冷却。

*  宽电压电机：覆盖全球主要国家/地区。

技术数据：

尺寸：

性能：

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随着干式清洁真空的应用需求不断扩大，XDS 涡旋泵已成为涡旋干式泵行业标准，证明是一项适用于各种应用和流程的耐用且清洁的真空泵解决方案。

XDS35i 泵具有创新的轴承罩，可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，创造了一个完全静态密封和完全无油清洁的真空环境。针对稀有气体再循环和气体回收等应用，XDS35iNGB 选配型移除了气镇。

C 型是改进型，更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz内阀以及不锈钢材料的出气口。

XDS46i 与 XDS35i 有许多共同特性，但前者的峰值抽速达到 40m³h^-1。该泵针对最大抽速 (入口压力介于 1 mbar 至10 mbar 之间) 进行了优化，使其完美适用于涡轮分子泵的前级泵。

XDS35i增强版（XDS35iE）具有双入口和旁通阀专利技术，使其能够处理标准XDS35i泵工作范围以外的应用，例如防止在较高操作压力和较大吞吐量时气体在涡旋装置中的过度压缩。XDS35iE能够在不受真空室大小或循环抽气频率限制的情况下工作。这给我们的客户提供了更多从XDS涡旋干泵技术中受益的机会。

产品特点：

*  轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

*  变频器驱动：全球范围内泵性能完全相同、泵过载保护和远程启动/停止功能特性。

*  高流量气镇特性：可实现以最高 240 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

*  独特的轴向气隙电机：减小了整体泵尺寸，并且降低了功率和噪声。

*  简单的单端双涡旋设计：可实现在几分钟内完成维护工作，从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间。

*  双入口和旁通阀技术：XDS35iE适用于大腔体的抽气，防止气体过度压缩，提高泵的效率和抽速，延长轴承的使用寿命。

技术数据：

尺寸：

性能：

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- 住友液氦闭循环制冷机，含循环冷水机组

- 一级冷头:35 W @ 50 K

- 二级冷头:1.5 W@ 4.2 K

- 降温时间：1个小时

- XYZ移动范围：25mm

- 移动分辨率优于10um

- 标配4个

- 样品台尺寸：50mm

- 6个探针臂：4个直流，2个30G射频

- 直流超低漏电底栅接口，标准Triax输出

- 变温范围：9K~350K

- 极限真空度优于1E-3Pa

- 气浮减震支腿

- 降温时间：2小时

- 住友液氦闭循环制冷机，含循环冷水机组

- 一级冷头:35 W @ 50 K

- 二级冷头:1.5 W@ 4.2 K

- 降温时间：1个小时

视频显微镜

- Thorlabs 6.5X变焦镜头，LED环形照明

- 物镜0.7~4.5倍连续变倍，

- 工作距51mm，分辨率3.1um

- 配高清HDMI摄像头，总放大倍率约700倍

针座

- XYZ移动范围：25mm

- 移动分辨率优于5um

- 可选射频探针

探针线缆

- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA

- Triax标准接口输出

- Keithley原装低噪声Triax线缆

直流探针

- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，可选最小1um

温控仪

- 双通道温度控制仪

- 测温分辨率1mK，

- 最大加热功率50W

- 温度稳定性：优于±0.01K

- 带LabVIEW 驱动

真空机组

- Edwards T-Station 85 分子泵机组，含全量程真空规

- 30分钟系统真空达到可用状态

第一部分：系统及指标描述

1、总体规格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：约80Kg

2、结构与特点

（1）真空腔体：真空度优于6×10^-4Pa。降温后优于6×10^-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）

（2）探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆

（3）显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦

（4）变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.02K

（5）可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤

（6）系统直流漏电低于1pA

3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪

4、设备照片（因配置不同，照片仅供参考）

第二部分：真空低温探针台系统配置

- 探针台真空腔主体（50mm，4探针臂，含流量调节杜瓦）
- 铁制抗震支架

- 进口分子泵机组（Edwards T-Station 85，含全量程真空规、隔震块）

- 视频显微镜（含LED光源、调节支架、高清摄像头与高清显示器）

- Triax低噪声线缆

- 10um探针

- 智能温控仪PicoFemto SmartT

- 备用各规格螺丝（套）

- 安装与现场培训

真空低温探针台系统尺寸图-点击下载.pdf

探针台主体

- 可测试晶圆尺寸：最大4英寸

- 样品台行程：100mm*100mm

- 移动分辨率：~0.1mm

- 样品台旋转范围：360度

- 超低漏电底栅接口，标准Triax输出

- 可选400度高温样品台

显微镜

- 舜宇三目连续变倍体视镜，LED环形照明

- 光学变倍总倍率45倍，物镜0.7~4.5倍连续变倍

- 可选配高清摄像头，总放大倍率约700倍

针座

- 磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm

- 移动分辨率2um

- 标配4个，最多可装6个

探针线缆

- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA

- Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆

探针

- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，最小1um

尺寸和自重

- 尺寸：450mmW*450mmD*500mmH

- 自重：约30Kg

Apiezon Q 化合物

Apiezon Q 化合物是一种有效的临时真空密封剂，在不容许要求立即拆除系统作维修的情况下，用它做短期解决方案。

为何使用 Apiezon Q 化合物？

• 临时的真空密封剂

• 适用于众多用途的通用产品

• 出色的防水介质

• 易于使用和清理

• 10 年保存期限
  
  
  

• Apiezon Q 密封剂 安全数据表 (SDS).pdf

• Apiezon Q 真空密封剂 技术数据表 (TDS).pdf

Apiezon 系列封蜡组成的三个产品包括广受欢迎的 Apiezon 封蜡 W ，也称为‘黑蜡’而闻名。所有在 Apiezon 范围内的封蜡可作为永久性或半永久性的真空密封剂或安装介质。Apiezon 蜡 W 也是一个完美的抗蚀刻材料。

为何使用 Apiezon 封蜡？

• 适用于众多用途的通用产品

• 抗蚀刻（仅封蜡 W）

• 一流的蒸汽压力特性

• 高纯度结合强有力的‘吸附’性和清洁熔化性能

• 出色的防水介质

• 易于使用和清理

• 10 年保存期限
  
  
  

• Apiezon Wax W 蜡 安全数据表 (SDS).pdf

• Apiezon Wax W, W40 & W100 真空密封、固封及腐蚀蜡 技术数据表 (TDS).pdf

• Apiezon Wax W40 蜡 安全数据表 (SDS).pdf

• Apiezon Wax W100 蜡 安全数据表 (SDS).pdf

在工作温度范围内的Apiezon H油脂的蒸气压力

在工作温度范围内蒸气压润滑脂的Apiezon L，M，N和AP100

Apiezon T的油脂，在工作温度范围内的蒸气压力

AP101润滑脂在工作温度范围内的蒸气压力

真空润滑脂性能

Apiezon N Grease Cryogenic Thermal Conductance.pdf

piezon AP100 润滑脂是无硅真空润滑脂和油脂润滑剂。含聚四氟乙烯，AP100 显示极高程度的润滑性，并已证实是标准的提供润滑水平的 8 倍，是石油基润滑脂。

Apiezon AP100 通常用于常温（通常在 10 到 30°C / 50 to 86°F）环境。如果您在寻找一种能够在更高温度操作的润滑脂，Apiezon AP101 或 Apiezon H 润滑脂可能更合适。

Apiezon AP100 润滑脂：超高真空润滑脂性能

Apiezon AP100 是无硅超高真空润滑脂，它：

• 具有防卡特性，使其成为一款有效的在超真高空中的保护和润滑剂

• 具有特别高水平的润滑性

• 在 20° C 时的低蒸汽压力在 20° C为 7 x 10^-11 托

• 建议常温下使用

• 无硅基润滑脂相关的污染问题,例如‘蠕变’或者‘滞留’

• 易于清洁除垢，使用热水和含水玻璃器皿清洁剂或碳氢化合物溶剂即可

Apiezon AP100 的应用

Apiezon AP100 真空润滑脂的独特性能意味着它经常被用来保护步进电机和变速箱不受腐蚀和磨损，特别是当他们经受高负荷条件时。AP100 也用于防止旋塞阀、水龙头和小的金属紧固件卡塞。

Apiezon AP100 的抗蠕变性以同样方式有益于科学和半导体用户。AP100 有助于提高分析的技术准确性，由于避免污染改善了半导体制造的产出率。此外，AP100 还用于表面涂料的应用，在其中硅污染可以导致表面附着力差和残缺的涂料缺陷。

Apiezon AP100 超高真空润滑脂 技术数据表 (TDS).pdf

APIEZON AP100 脂 安全数据表 (SDS).pdf

Apiezon AP101 是一种无硅，优良通用型烃基润滑脂，旨在用于不同的工业和科学应用。

Apiezon AP101 是一种专业的、防卡塞的真空润滑脂，含有聚四氟乙烯，具有出众 的防卡塞性能，能提供玻璃和金属表面持久的润滑并防止熔化和腐蚀。

Apiezon AP101：防卡塞真空润滑脂特性

Apiezon AP101 是无硅防卡塞真空润滑脂，它：

• 是在低到中度真空范围使用的理想润滑脂，在 20°C 时的蒸汽压力小于 10^-5 托

• 具有防卡塞特性，使它成为可能会遭受腐蚀的金属表面有效的保护剂和润滑剂

• 是一种关键的润滑剂

• 溶于大多数的溶剂，防水、醇类、酮类和酯类

• 抗水酸和碱性液、酒精碱溶液和腐蚀性气体。

• 适用的温度范围广

• 无硅基润滑脂相关的污染问题，例如‘蠕变’或者‘滞留’

• 易于清洁除垢，使用热水和含水玻璃器皿清洁剂或碳氢化合物溶剂即可

Apiezon AP101 的应用

Apiezon AP101 以其优越的防卡塞性能通常用来保持在科学和工业装置上的旋塞阀和龙头的顺畅操作。加上易于分离的基础或者抛光玻璃接头，AP101 是一款出色的供实验室使用的通用型润滑脂。

Apiezon AP101 防卡塞性能的价值对于实验室或者玻璃器皿的使用是无限的，然而当它用在可能会遭受咬死或腐蚀的金属设备上时同样有效。

Apiezon AP101 是一款出色的应用于密封接头的通用型润滑脂，是理想的用于关键润滑例如高度应力的轴承的润滑脂。

作为烃基，Apiezon AP101 不会出现“蠕变”或“滞留”这样的问题，这些在传统上和硅润滑脂有关。它减少了对样品污染，因此也减少了在分析技术中干扰的风险，如红外线和质谱分析技术。此外 AP101 可有把握地用于油漆喷涂和金属沉积工艺。

Apiezon AP101 安全数据表 (SDS).pdf

Apiezon AP101 防抱轴真空润滑脂 技术数据表 (TDS).pdf

Apiezon H 润滑脂是无硅高真空润滑脂，在高温下特别适合于科学和工业使用。H 润滑脂具有特殊的“粘附作用”和热传导性能，获得了各国际组织，包括 BAE 系统公司、欧洲航天局和美国宇航局的高度认可。

Apiezon H 润滑脂：高温真空润滑脂性能

Apiezon H 润滑脂是一种无硅、高温真空润滑脂，它：

• 在 -10°C～+240°C 温度范围内表现良好，并在温度为 +10 和 +110°C 间保持最佳一致性

• 不融化，而是随着温度的升高变得更硬，因此不推荐用于高应力轴承

• 具有优良的热传导性能

• 导热离开运行场所，降低过热和损坏热敏感元件的危险

• 显现出良好的“粘附作用”或粘住动力

• 具有强大的‘吸附’能力，它吸收在金属和玻璃表面潜在的有害润滑脂和化学杂质。

• 易溶于碳氢化合物溶剂，方便清洁除垢

• 在 20°C 时显示的蒸气压力为1.7 x 10^-9 托

Apiezon H 润滑脂的应用

作为一种高温，低到中度真空润滑脂它具有优良的“粘附作用”能力和良好的热传导性能。Apiezon H 润滑脂用于许多不同的应用。H 润滑脂尤其常用于科学和工业高温密封应用。

由于其“粘附作用”能力，Apiezon H 润滑脂是实验室用玻璃制品的理想之选，同时因其高导热性使其成为在散热器介质需要附着力的情况下完美的真空润滑脂，也受到了电子和航天工业的青睐。。

美国航天局认为 Apiezon H 润滑脂适合于在高真空下温度从 -65°C 到 +125°C 的条件下作为小变量电容器镀金线的润滑材料以避免磨损。

Apiezon H 高温真空润滑脂 技术数据表 (TDS).pdf

APIEZON H 脂 安全数据表 (SDS).pdf

Apiezon T 润滑脂是无硅中等温度真空润滑脂，以其质和韧性而闻名，T 润滑脂获得权威组织的认可，例如北约和美国海军。

Apiezon T 润滑脂：中间温度真空润滑脂特性

Apiezon T 润滑脂是无硅中间温度真空润滑脂，它：

• 在 +10 到 +120°C 的温度范围表现良好

• 不推荐用于高应力轴承

• 增加了缓冲

• 显现出良好的“粘附作用”或粘住动力

• 具有强大的‘吸附’能力，其可吸收在金属和玻璃表面潜在的有害润滑脂和化学杂质

• 易溶于碳氢化合物溶剂，方便清洁除垢

• 在 20°C 显示的蒸气压力为 4.6 x 10^-9 托

Apiezon T 润滑脂的应用

作为一种真空润滑脂，Apiezon T 润滑脂专门设计用于低到中等真空范围，也适用于在较低的温度下在高真空工作。

我们特别推荐，Apiezon T 润滑脂用于在中间温度环境的密封与润滑（但不适合高应力轴承）。T 润滑脂具有出色的粘结强度，因此当接头啮合时他们保持密切结合形成一个非常有效的气密密封。

Apiezon T 润滑脂在两个密切结合的表面提供特别缓冲，并很有效的保护易碎的玻璃到玻璃接头。

Apiezon T 润滑脂强烈的吸收性能给予其一种强有力的‘吸附’能力。这在电子工业中有重大价值，其对属表面光洁度的要求非常严格。

发现 Apiezon T 润滑脂有一个位置在真空或非真空情况下就像一个阻挡氧气传输的屏障。

Apiezon T 脂 安全数据表 (SDS).pdf

Apiezon T 中温真空润滑脂 技术数据表 (TDS).pdf

Apiezon N 润滑脂是无硅的，并作为低温真空润滑脂得到广泛认可和推荐。这种低温润滑脂是专门配制用于在低温下表现出无裂纹性能特点，并且承受在低温 -273°C 和 +30°C 之间的经常性循环。

Apiezon N 润滑脂：低温高真空润滑脂

Apiezon N 润滑脂是一种无硅无卤素低温真空润滑脂，它：

• 可承受在低温 -273°C 和 +30°C 之间的经常性循环

• 在低温温度无裂纹

• 有能力填充临近表面的微孔，所以改善了热接触

• 无硅基润滑脂相关的污染问题,例如‘蠕变’或者‘滞留’

• 在 20°C 蒸气压力为 6 x 10^-10 托

• 有内置的辐射抗性

• 具有强大的‘吸附’能力，其可吸收在金属和玻璃表面潜在的有害润滑脂和化学杂质

• 易溶于碳氢化合物溶剂，方便清洁除垢

Apiezon N 润滑脂的低温应用

低温真空密封

Apiezon N 油脂在室温下表现出极低的蒸气压力，在 20°C 时为 6 x 10^-10 托，通过减少到冷冻区的温度这得以进一步改善。它能够在极低温度下抗开裂，该特性使其特别适用于低温系统的真空密封。

可依靠 Apiezon N 润滑脂形成和维持一个长时间的真空密封，即使经受频繁的热循环，承受在极端温度 -273°C 和 +30°C 之间的循环。其独特的性能意味着 N 润滑脂广泛用于生成可靠的真空和耐压密闭的密封，其中还包括在：真空线；舒伦克线；冷阱，液氦软管和电子显微镜。

热耦合

Apiezon N 润滑脂拥有在低温条件下提高热接触的良好记录。它对于冷却系统耦合超导磁体，低温恒温器，温度传感器或任何须尽快达到低温冷冻的系统很重要。低磁化率也使其成为超导体制造应用的理想选择。

传感器安装

Apiezon N 润滑脂是低温传感器安装的理想之选。它在室温下柔软，在低温时凝固，使其允许方便安装和拆除传感器，而不损坏传感器。

样品安装

在半导体芯片，激光二极管和晶体等低温测试中很重要，Apiezon N 润滑脂用于改善样本船和恒冷器冷头之间的热接触。这种低温热接触润滑脂确保样品在尽可能最低的温度下提高测试灵敏度。

环境温度的应用－－增加缓冲

Apiezon N 润滑脂可用于在室温条件下的各种应用，例如需要增加缓冲时。N 润滑脂具有特殊的添加剂从而形成一种坚韧和弹性的一致性借此吸收设备振动，使得 N 润滑脂在将易碎的玻璃接到玻璃接头中就非常宝贵，如滴定管龙头，它一直有破碎的风险。

Apiezon L, M & N 超高及高真空润滑脂 技术数据表 (TDS).pdf

APIEZON N 低温高真空润滑脂 技术数据表 (TDS).pdf

Apiezon N 脂 安全数据表 (SDS).pdf

Apiezon M 润滑脂是无硅无卤素高真空润滑脂，是各式各样的高真空应用的理想之选。其固有的多功能性表现在 M 润滑脂也经常用于在科学和工业安装中非真空目的，并经北约批准使用。

Apiezon M 通常用于常温（通常在 10 到 30°C / 50 to 86°F）下的高真空环境中。如果您在寻找一种能够在更高温度环境下使用的润滑脂，Apiezon AP101 或 Apiezon H 润滑脂可能更合适。

Apiezon M 润滑脂：高真空润滑脂特性

Apiezon M 润滑脂是无硅无卤素高真空润滑脂，它：

• 无硅基润滑脂相关的污染问题，例如‘蠕变’或者‘滞留’

• 提供出色的润滑性能

• 建议常温下使用

• 在 20°C 的蒸气压力为 1.7 x 10^-9 托

• 有内置的辐射抗性

• 具有强大的‘吸附’能力，其可吸收在金属和玻璃表面潜在的有害润滑脂和化学杂质

• 易溶于碳氢化合物溶剂，方便清洁除垢

Apiezon M 润滑脂的应用

作为一种超高真空润滑脂它具有优良的润滑性能和耐辐射性。Apiezon M 润滑脂用于许多不同的应用。M 润滑脂尤其常用于科学和工业密封和润滑。

Apiezon M 润滑脂是特别配方制造，其具有优良的润滑性，而同时保持有效的气体密封，因此被广泛用于高性能真空泵的制造及维护。

使用无硅 Apiezon M 润滑脂避免了‘蠕变’和‘滞留’的问题，上述现象往往导致样品污染。因此，它经常应用于分析技术，例如红外或质谱分析，这些分析应避免样品受到污染。

同样，‘蠕变'可以导致工业用漆或金属沉积过程中出现问题，因为表面上微量的硅可以防止涂料附着，导致上漆不良。而使用无硅 Apiezon M 润滑脂就不存在这个问题。

作为无卤产品，Apiezon M 脂具有内置的抗辐射性。其他高真空润滑脂如酯、硅酮或卤化石蜡会在0.1 MGy或更低的辐射水平下分解。相比之下，Apiezon M脂在高辐射应用中仍能保持优异的润滑性能，尽管当受到高至1 MGy的4 MeV电子辐射时其刚度会略增。

Apiezon M 润滑脂具有强大的吸收能力，特别是由于其他烃分子由于其复杂的烃结构和非常高的分子量。因此，在气相色谱分析中它经常用来作为固定相。

Apiezon M 脂 安全数据表 (SDS).pdf

Apiezon L, M & N 超高及高真空润滑脂 技术数据表 (TDS).pdf

Apiezon L 润滑脂是无硅无卤素超高真空润滑脂，适用于科学和工业使用。L 润滑脂在所有 Apiezon 产品中具有最好的蒸汽压力特性，因此适用于超高真空领域。L 润滑脂经常被权威组织所使用，例如欧洲航天局，美国宇航局和北约。

Apiezon L 润滑脂通常用于常温（通常在 10 到 30°C / 50 to 86°F）。如果您在寻找一种能够在更高温度下操作的润滑脂，Apiezon AP101 或 Apiezon H 润滑脂可能更合适。

Apiezon L 润滑脂：超高真空润滑脂特性

Apiezon L 润滑脂是无硅无卤素超高真空润滑脂，它：

• 在20°C 时显示的蒸气压力极低，为 7 x 10^-11 托

• 不受与硅基润滑脂相关的污染问题，例如‘蠕变’或者‘滞留’

• 提供出色的润滑性能

• 建议常温下使用

• 有内置的抗辐射性

• 具有强大的‘吸附’能力，它吸收在金属和玻璃表面潜在的有害润滑脂和化学杂质

• 易溶于碳氢化合物溶剂，方便清洁除垢

Apiezon L 润滑脂的应用

作为一种超高真空润滑脂它具有优良的润滑性和耐辐射性。Apiezon L 润滑脂用于许多不同的应用。L 润滑脂尤其常用于科学和工业密封和润滑。

Apiezon L 润滑脂是特别配方制造，具有优良的润滑性，而同时保持有效的气体密封，因此被广泛用于高性能真空泵的制造和维护。

使用无硅 Apiezon L 润滑脂避免了‘蠕变’和‘滞留’的问题，上述现象往往导致样品污染。因此，它经常应用于分析技术，例如红外或质谱分析，这些分析要求避免样品受到污染。

同样，'蠕变'可以导致工业用漆或金属沉积过程中出现问题，因为表面上微量的硅可以防止涂料附着，导致上漆不良。而使用无硅 Apiezon L 油脂就不存在这个问题。

作为无卤产品，Apiezon L脂具有内置的抗辐射性。其他高真空润滑脂如酯、硅酮或卤化石蜡会在0.1 MGy或更低的辐射水平下分解。相比之下，Apiezon L脂在高辐射应用中仍能保持优异的润滑性能，尽管当受到高至1 MGy的4 MeV电子辐射时其刚度会略增。

Apiezon L 润滑脂具有强大的吸收能力，特别是由于其他烃分子由于其复杂的烃结构和非常高的分子量。因此，在气相色谱分析中它经常用来作为固定相。

图中所示卡箍包括标准不锈钢卡箍和我们的高端产 品(旋转卡箍和铰接卡箍)，这两种产品均提供聚合 物和铝制版本，并且比卡箍更易于使用。 

Edwards真空产品手册-卡箍、管件、阀和软管接头-点击下载.pdf

APG100 - 有源皮拉尼真空计

APGX H -  有源线性对流真空计

AIM - 有源冷阴极潘宁真空计

Edwards真空产品手册-有源真空计和控制器-点击下载.pdf

 

技术数据：

订购信息：

Edwards真空产品手册-PRA&WRA系列残余气体分析仪-点击下载.pdf

Edwards在现有有源真空计的基础上推出了一系列新的无源真空计。每种型号都有独特的优势，使其应用于不 同的领域。下面就适合某些应用的选型提供了一些指导。 

有源真空计 

有源真空计是由完全独立的真空规管和电子器件集成在一个紧凑 的单元。此类真空计通常需要24 V的直流电压，并且提供与压力有 关的0-10 V的输出电压，或者可选择串行通信的数字输出。根据不 同的控制单元，该输出可以是S形的，也可以是线性的。有源真空 计的优势在于： - 低功耗表面安装集成电路电子器件的紧凑单元 - 可以使用长的柔性电缆，因为他们只包含一个驱动电压和信号输出电 压，而不是容易受到干扰的低电压信号 - 通用型控制器，如TIC和ADC可以控制多种类型真空计，无需在订购时 指定真空计 

无源真空计 

无源真空计将测量单元和电子驱动单元完全隔离。连接到系统上 的规管只包含用于物理测量的器件，所有其他的电子器件都包含 在控制器中。因此，控制器和电缆必须匹配特定的真空计。无源 真空计的优势在于： - 规管不易受电离辐射的干扰 - 真空计和连接器是更坚固的，能够适用于苛刻的环境 

真空度范围

Edwards真空产品手册-真空测量-点击下载.pdf

Digitel™ 系列离子泵控制器实现了对性能、功耗和保护的适度平衡。

Digitel™ SPCe小型控制器

SPCe是完全操作单一离子泵的一种通用方法。LCD真空度/ 电流/ 电压显示屏和 标准串行通信使SPCe能够适应基本用户和高级用户的需求。 

Digitel™ QPC 多通道泵控制器：

QPC 控制器具有可调节输出电压、毫微安电流精度以及最多四个独立电源，可对最多四个离子泵单独进行高电流控制。它具有清晰易读的彩色触摸屏 LCD显示屏，可同步显示真空度、电流和电压，并且标配有串行和以太网通信。

Digitel™ SPCq 控制器：

MPCq控制器能够同时操作两个独立的配有钛升华泵的离子泵。与之相匹配的 离子泵的抽速可达1200 l/s。前面板显示屏能够直接读出离子泵的电压、电流或 压力。

Digitel™ TSP/NEG 控制器：

TSPq/NEGq控制器具有清晰易读的LCD彩色触摸屏，可显示所有手动或程序化的 运行参数。手动操作十分简单，按下按钮即可。编程同样十分简单，只需查看 屏幕上的所有编程选项即可。TSPq/NEGq控制器可以操作最多8个 TSPq 灯丝或2个 NEGq泵。 

技术数据：

订购信息：

Edwards真空产品手册-Digitel™ Gamma离子泵控制器-点击下载.pdf

钛升华泵 (TSP) 通常与离子泵组合使用或单独使用，可去除真空环境中的反应气体。与离子泵组合后，TSP 可在更短的时间内达到高极限真空。所有 TSP 部件均可加热至 400 °C。

TSP 的工作原理是加热钛丝并将钛分子升华(从固相转化为气相)到某个表面上。升华后的钛分子可以与反应气体(例如氧气和氮气)发生化学反应，同时扩散方式来吸附游离氢气。TSP 可在 10^-5 至 10^-12 mbar的范围内工作，氢气抽速超过10,000 ls^-1。

产品特点：

*  TSP 灯丝支架：灯丝支架安装在 2- 3/4 英寸 CFF (DN40) 上。真空电极支持三个钛钼灯丝，以及一条用于接地隔离的回路。每个灯丝均包含 1.5 克的可用钛，平均工作时间为 20 小时。

*  液氮低温护罩：液体低温屏蔽罩包含一个双层 304L 型不锈钢夹套，该夹套带有两个直径为 0.375 英寸的液氮穿通件(配备外凸式液氮接口)。它可提供 1578cm² (245 平方英寸)的液氮冷却表面积，氢气抽度高达 12,000 ls^-1 (见表格)。该护套安装在一个8 英寸的 CFF (DN160) 上。

*  常温溅射护罩：当冷却不切实际或不可行时，常温溅射护罩能够以经济的方式将表面积最大化。它可提供827 cm² (128 平方英寸) 的常温表面积，氢气抽取速度高达 2200 ls^-1 (见表格)。该护罩安装在一个 8 英寸的 CFF (DN160) 或 6 英寸的 CFF (DN100) 上。

技术数据：

订购信息：

Edwards真空产品手册-钛升华泵 (TSP)-点击下载.pdf

捕集型泵为从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器等各种应 用创造了高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 环境。这些技术以经 济的成本打造尽可能高的真空环境。 Edwards通过Gamma Vacuum提供一系列离子泵、钛升华泵、 非蒸发型吸气剂泵和附件。 

产品特点：

*  消除了机械振动：捕集型泵上没有移动部件。消除了移动部件产生的振动和电气噪声。

*  抗辐射性强：捕集型泵由能够承受超过 108 Gray 的抗辐射材料组装而成。连接器和电缆同样抗辐射材料组装而成，可长期持续工作。

*  耐高温：在没有任何特殊考虑的情况下，捕集型泵可以加热至 250 °C。取下磁体可使加热器加热至450 °C。长时间加热烘烤对每个 UHV 系统都至关重要。

*  免除日常维护：捕集型泵几乎无需维护，并且由于与大气完全隔绝，因此可以避免产生成本高昂的真空故障，从而节省了时间、成本和资源。

*  低初始成本和运营成本：初始成本通常低于同类规格的其他类型真空泵。它们尽可能少地耗费功率或完全不耗费功率，以实现多年以来的低成本操作。

技术数据：

订购信息：

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NEG 由被压到固态基板上或被烧结成盘状的活性金属制成。材料的用量控制着 NEG 泵的转速和性能，但通常氢气的抽速介于 50 至 3,500 ls^-1 之间。随着 NEG 内气体的饱和，它们可以在不需要破空大气的环境下再活化。其主要优势在于能够在无需电源的情况下长时间抽空。

NEG 非常适用于抽空和维持真空应用，并且可用于提升离子泵的性能，或单独使用抽真空。由于其尺寸紧凑、H2 抽速较高，因此是 UHV 应用的理想选择。它们通常并不适用于频繁从大气压下开始抽真空应用，因为这会使表面饱和，并且它们仅可在有限的次数内进行再活化。

技术数据：

订购信息：

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